?ESC系列平臺(tái)可被用于常溫和大氣壓環(huán)境,有些型號(hào)還可用于超高真空環(huán)境。
?ESC系列平臺(tái)采用了十字交叉滾柱導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),其承載能力可高達(dá)數(shù)公斤,其俯仰,方位和轉(zhuǎn)動(dòng)角度偏差小于0.1mrad。
?同時(shí),其最大行程可達(dá)50mm,單步進(jìn)給量可小至50nm。另外,可選配的用于閉環(huán)控制的傳感器的分辨率達(dá)1nm。attocube系列平臺(tái)備有多種形式,尺寸和行程。并可直接互相組合成多軸平臺(tái)。