?尺寸小,可進行高速高分辨率定位。
? 開環(huán)控制時的行程為100μm。和開環(huán)控制相比,閉環(huán)控制時的最大行程會少10%左右。
?考慮到顯微鏡的種類,我們備有2種用于正立型和1種用于倒立型顯微鏡的標準產品。
?和其他壓電陶瓷平臺類似,可用控制器(FINE-01γ/503(CL))實現(xiàn)驅動。它們具有RS232C,GP-IB(僅FINE-503(CL)),USB接口,配合計量·控制軟件SGEMCSE,SGTERME或SGSFSX,可簡單地構建控制需要的系統(tǒng)。
?在閉環(huán)控制時,平臺的行程與開環(huán)控制時相比會減少20%左右。