?驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為壓電陶瓷，位置反饋采用數(shù)字位移傳感器，具有50×50mm開(kāi)口部的超高精密定位的中空型XY平臺(tái)，適用于在顯微鏡下微動(dòng)。
?推薦使用控制器FINE-503驅(qū)動(dòng)。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口。選購(gòu)測(cè)量·控制軟件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX等，可方便地構(gòu)建位置控制系統(tǒng)。
?是各種顯微鏡，精密測(cè)量裝置，半導(dǎo)體檢測(cè)裝置，高精度曝光，掃描型干涉儀，圖像處理裝置，或相關(guān)生物用裝置的最佳選擇。
?在閉環(huán)控制時(shí)，平臺(tái)的行程與開(kāi)環(huán)控制時(shí)相比會(huì)減少20%左右。
