X軸套件/可方便地實(shí)現(xiàn)1方向直動(dòng)自動(dòng)定位和連續(xù)驅(qū)動(dòng)。
XY軸套件/XY軸自動(dòng)調(diào)整,不用計(jì)算機(jī),不需編程就可使用。
XYθ軸套件/適用于硅片的打標(biāo)等的微小位置,角度調(diào)整用自動(dòng)平臺(tái)。
XYZ軸套件/適用于計(jì)測(cè)·檢查裝置或需要XYZ軸自動(dòng)定位置的場(chǎng)合。
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